特許
J-GLOBAL ID：200903080471403333
電解イオン水の製造法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
赤野 牧子 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-315980
公開番号（公開出願番号）：特開平8-144077
出願日： 1994年11月25日
公開日（公表日）： 1996年06月04日
要約：
【要約】【目的】 安全で且つ低い電力原単位で酸化還元電位の高いシリコンウエハーの洗浄力に優れる電解イオン水の製造方法の提供。【構成】 陽イオン交換膜を隔膜として形成された電極室を有する電解槽において、陽極室、または、陽極室及び陰極室の双方に、第4級アンモニウム化合物を含有する水溶液を供給して電気分解することを特徴とする電解イオン水の製造法。第4級アンモニウム化合物としてテトラアルキルアンモニウム化合物及びテトラアルキルアルカノール化合物の少なくとも1種を用いることができる。
請求項（抜粋）：
陽イオン交換膜を隔膜として形成された電極室を有する電解槽において、陽極室、または、陽極室及び陰極室の双方に、第4級アンモニウム化合物を含有する水溶液を供給して電気分解することを特徴とする電解イオン水の製造法。
IPC (2件)：
引用特許：
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