特許

J-GLOBAL ID：200903080475400061

走査光電子顕微鏡

発明者： 河田 真太郎 ,  原 景太郎
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-077924
公開番号（公開出願番号）：特開平6-289299
出願日： 1993年04月05日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：

【要約】【目的】 気体放出の多い試料、水を含んだ試料からの光電子も検出することのできる光電子顕微鏡を得る。【構成】 試料(8)から光電子を放出させることのできる波長の光を射出する光源(1)と、光源(1)からの光を試料(8)上に集光する光学系(2、3、7)と、試料(8)と光源(1)からの光を相対的に走査する走査ミラー(4)及び駆動装置(16)と、試料に対して正の電位が与えられ、試料(8)から放出された光電子を、電気増倍作用を有する気体を介して捕獲する電極(9)と、を有した走査光電子顕微鏡。

請求項（抜粋）：

試料から光電子を放出させることのできる波長の光を射出する光源と、前記光源からの光を試料上に集光する光学系と、前記試料と前記光とを相対的に走査する走査手段と、前記試料に対して正の電位が与えられ、前記試料から放出された光電子を、電子増倍作用を有する気体を介して捕獲する検出手段と、前記走査手段による走査に同期して前記検出手段の出力を表示する表示手段と、を備えたことを特徴とする走査光電子顕微鏡。