特許

J-GLOBAL ID：200903080478411404

長尺テープ線上への蒸着装置

発明者： ハ,ホン スー ,  オー,サン スー ,  ハ,ドン ウー ,  ソン,キュ ジュン ,  コ,ロック キル ,  キム,ホ セプ
出願人/特許権者： コリア エレクトロテクノロジィ リサーチ インスティテュート
代理人 (1件)： ▲吉▼川 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-200549
公開番号（公開出願番号）：特開2008-069451
出願日： 2007年08月01日
公開日（公表日）： 2008年03月27日
要約：

【課題】テープ線の損傷を最小化しながら円滑なテープ線の供給が行われるようにする長尺テープ線上への蒸着装置を提供する。【解決手段】真空チャンバー10の内部に、外周面に沿って螺旋状のガイド溝が設けられ且つガイド溝に沿って長尺のテープ線が巻き付けられているドラム30と、ドラムの一側から離間して設けられた蒸着ソース40と、ドラムの両軸側にテープ線の送りリール50および巻き戻しリール60とが位置し、ドラムが回転しながら蒸着ソースからテープ線20上に特定の物質が蒸着されるようにするとともに、テープ線の送りと巻き戻しが行われるようにする長尺テープ線上への蒸着装置において、ドラムの内側で円周面に隣接して外側に突出するようにドラムの長手方向に長く設けられ、テープ線の移送方向に回転するスリップローラー100を備え、テープ線の移動の際にガイド溝においてテープ線がスリップされる長尺テープ線上への蒸着装置。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

真空チャンバーの内部に、外周面に沿って螺旋状のガイド溝が設けられ且つ前記ガイド溝に沿って長尺のテープ線が巻き付けられているドラムと、前記ドラムの一側から離間して設けられた蒸着ソースと、前記ドラムの両軸側に前記テープ線の送りおよび巻き戻しのためにそれぞれ設けられた送りリールおよび巻き戻しリールとが位置し、ドラムが回転しながら前記蒸着ソースから前記テープ線上に特定の物質が蒸着されるようにするとともに、前記テープ線の送りと巻き戻しが行われるようにする長尺テープ線上への蒸着装置において、 前記ドラムの内側で円周面に隣接して外側に突出するように前記ドラムの長手方向に長く設けられ、前記テープ線の移送方向に回転するスリップローラーを備え、 前記テープ線の移動の際に前記ガイド溝においてテープ線がスリップされることを特徴とする、長尺テープ線上への蒸着装置。

IPC (4件)：

C23C 14/56 ,  B01J 19/00 ,  C23C 16/54 ,  H01B 13/00

FI (4件)：

C23C14/56 B ,  B01J19/00 L ,  C23C16/54 ,  H01B13/00 561Z

Fターム (28件)：

4G075AA24 ,  4G075BC01 ,  4G075BD14 ,  4G075CA65 ,  4G075DA02 ,  4G075EB01 ,  4G075EB41 ,  4G075ED04 ,  4K029AA02 ,  4K029AA25 ,  4K029BA50 ,  4K029BC04 ,  4K029CA01 ,  4K029CA05 ,  4K029DB05 ,  4K029DC05 ,  4K029JA10 ,  4K029KA03 ,  4K030BA42 ,  4K030CA02 ,  4K030CA12 ,  4K030GA14 ,  4K030LA03 ,  5G321AA01 ,  5G321DB33 ,  5G321DB35 ,  5G321DB39 ,  5G321DB40