金属蒸発容器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-345441
公開番号（公開出願番号）：特開2005-113171
出願日： 2003年10月03日
公開日（公表日）： 2005年04月28日
要約：

【課題】通電初期に溶融金属の這い上がりを少なくすることができるので、短絡の有無による容器への過剰の電力供給を防ぎ、その結果、容器温度上昇及びそれに伴う浸食速度の上昇を抑制することができ、更なる長寿命化を達成できる金属蒸着用容器を提供する。【解決手段】キャビティを有する導電性セラミックスからなり、その電極取り付け側上面の全面又は部分面に、溶融金属との濡れ性が悪い物質による溶融金属の這い上がり防止層が形成されてなるものであることを特徴とする金属蒸発容器。この場合において、導電性セラミックスが、二硼化チタン(TiB2)、窒化硼素(BN)を主成分とするか、又は二硼化チタン(TiB2)、窒化硼素(BN)、窒化アルミニウム(AlN)を主成分とするものであって、その相対密度が90%以上であり、溶融金属がアルミニウムであり、溶融金属との濡れ性が悪い物質が黒鉛であることが好ましい。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

キャビティを有する導電性セラミックスからなり、その電極取り付け側上面の全面又は部分面に、溶融金属との濡れ性が悪い物質による溶融金属の這い上がり防止層が形成されてなるものであることを特徴とする金属蒸発容器。

IPC (2件)：

C23C14/24 , C04B35/495

FI (2件)：

C23C14/24 A , C04B35/00 J

Fターム (33件)：

4G030AA07 , 4G030AA08 , 4G030AA09 , 4G030AA10 , 4G030AA11 , 4G030AA12 , 4G030AA13 , 4G030AA14 , 4G030AA16 , 4G030AA36 , 4G030AA37 , 4G030AA45 , 4G030AA47 , 4G030AA49 , 4G030AA50 , 4G030AA51 , 4G030AA52 , 4G030AA54 , 4G030BA02 , 4G030CA04 , 4G030CA07 , 4G030GA09 , 4G030GA22 , 4G030GA29 , 4G030GA31 , 4G030GA35 , 4K029AA11 , 4K029AA25 , 4K029BA03 , 4K029DB03 , 4K029DB09 , 4K029DB13 , 4K029DB18

引用特許：

出願人引用 (1件)

改良された初期濡れ性能を有するセラミック蒸発ボ-ト及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-130114 出願人：エレクトロシュメルツベルク・ケンプテン・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング

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