特許

J-GLOBAL ID：200903080484267552

直動機構を持つ処理容器を備えた処理装置

発明者： 冨田 良幸 ,  浜田 史郎
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社
代理人 (1件)： 後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-083933
公開番号（公開出願番号）：特開平10-277379
出願日： 1997年04月02日
公開日（公表日）： 1998年10月20日
要約：

【要約】【課題】 処理対象物の加熱による熱歪の影響を受けにくく、処理容器内における微小なごみの発生を抑制できる処理容器を備えた処理装置を提供すること。【解決手段】 一端が処理容器1の壁を貫通して外部まで導出された2本の駆動用支軸2a、2bを有し、この駆動用支軸の一端側には、これを処理容器に対して軸方向に並進移動させるためのリニアモータ4a、4bを設ける。処理容器内では、基板8を保持するための保持台6を駆動用支軸の他端側で片持ち支持する。駆動用支軸が処理容器の壁を貫通する箇所においては、処理容器内の気密性が保たれるように、真空ベローズ5a、5bが設けられる。

請求項（抜粋）：

気密状態を維持される処理容器と、前記処理容器内に配置され、一端が前記処理容器の壁を貫通して外部まで導出された少なくとも2本の駆動用支軸と、前記駆動用支軸が前記処理容器の壁を貫通する箇所において、前記駆動用支軸がその軸方向に並進移動可能なように、かつ前記処理容器内の気密性が保たれるように、前記処理容器内と外部とを隔離する気密機構と、前記処理容器の外に設けられ、前記駆動用支軸が前記処理容器に対して軸方向に並進移動可能なように駆動用支軸を支持するガイド機構と、前記駆動用支軸の一端側に取り付けられ、前記駆動用支軸を前記処理容器に対して軸方向に並進移動させる駆動機構と、前記処理容器内において、前記駆動用支軸の他端側で支えられ、処理対象物を保持する保持手段とを有することを特徴とする直動機構を持つ処理容器を備えた処理装置。

IPC (3件)：

B01J 3/00 ,  B01J 19/12 ,  H01L 21/268

FI (3件)：

B01J 3/00 L ,  B01J 19/12 B ,  H01L 21/268 G