特許

J-GLOBAL ID：200903080484829232

表面欠陥検査装置

発明者： 田中 利彦
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-266677
公開番号（公開出願番号）：特開2001-091469
出願日： 1999年09月21日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、被検査物の撮像に最適な光量により欠陥検査画像を取得することができる表面欠陥検査装置を提供する。【解決手段】 ステージ1上の被検査物2の撮像画像上に選択領域14を指定し、この選択領域14中で最大光量を検出するとともに、この最大光量から選択領域でのランプ6の明るさを、第1のカメラ8および第2のカメラ9の撮像に最適な光量に設定する。

請求項（抜粋）：

被検査物表面の欠陥を検査する表面欠陥検査装置において、前記被検査物の表面に照明光を照射する照明手段と、前記被検査物を撮像する撮像手段と、前記撮像手段で撮像された画像を表示する表示手段と、この表示手段に表示された画面の任意の範囲を選択範囲として指定する入力手段と前記入力手段により指定された選択範囲の光量を検出する光量検出手段と、この光量検出手段の検出光量に基づいて前記撮像手段での撮像時の最適光量を求め調光する調光手段と、を具備したことを特徴とする表面欠陥検査装置。

IPC (5件)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/24 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/956 ,  G01N 21/958

FI (6件)：

G01N 21/88 J ,  G01B 11/30 A ,  G01N 21/956 A ,  G01N 21/958 ,  G01B 11/24 F ,  G01B 11/24 K

Fターム (32件)：

2F065AA49 ,  2F065BB02 ,  2F065CC19 ,  2F065CC25 ,  2F065CC31 ,  2F065FF42 ,  2F065GG02 ,  2F065GG16 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL24 ,  2F065MM03 ,  2F065NN02 ,  2F065NN18 ,  2F065NN20 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ24 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13 ,  2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AB07 ,  2G051BB07 ,  2G051BC01 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051DA05