特許

J-GLOBAL ID：200903080487596840

位置検出装置

発明者： 川口 透
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-238858
公開番号（公開出願番号）：特開平9-250904
出願日： 1996年09月10日
公開日（公表日）： 1997年09月22日
要約：

【要約】【課題】 光学系の調整が容易で複数波長の光を使用できるという特徴を維持した上で、簡単な構成でSN比の高い光ビート信号を得ることができるヘテロダイン干渉型の位置検出装置を提供する。【解決手段】 光源からの所定の帯域の光束L0 の光軸に沿って、且つその光軸の周りに対称に傾斜するように異なる周波数で駆動されている2個の音響光学素子(AOM)17A,17Bを配置する。光束L0 によるAOM17Aからの±1次回折光LA(1),LA(-1) と、AOM17Aからの0次光によるAOM17Bからの±1次回折光LB(1),LB(-1) とを光軸に対して対称に発生させて、回折光LA(1),LB(1)よりなる1組の光束と、回折光LA(-1),LB(-1) よりなる1組の光束とをそれぞれ異なる回折格子マークに照射する。

請求項（抜粋）：

互いに周波数の異なる2光束を生成する2光束生成手段と、該2光束生成手段からの2光束を集光して被検物上に形成された回折格子状マークに対して所定の2方向から照射する対物光学系と、前記回折格子状マークから発生する複数の回折光よりなる干渉光を検出する光電検出器とを有し、該光電検出器の検出信号に基づいて前記回折格子状マークの位置を検出する位置検出装置において、前記2光束生成手段は、複数波長の光を含む光束又は単一波長の光束を生成する光源手段と、それぞれ入射光束から互いに周波数の異なる2光束を生成する第1及び第2の音響光学素子とを備え、前記光源手段からの光束を前記2個の音響光学素子を通過させることによって、少なくとも2組の互いに周波数の異なる2光束を生成するために、前記2個の音響光学素子は前記光源手段からの光束の光軸に沿って直列に、且つ前記光軸を中心とする回転方向に沿って互いに所定角度だけ傾いて配置され、前記2個の音響光学素子によって生成される複数組の互いに周波数の異なる2光束を複数個の回折格子状マークに照射して、該複数個の回折格子状マークの位置を検出することを特徴とする位置検出装置。

IPC (4件)：

G01B 11/00 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

G01B 11/00 C ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 522 D ,  H01L 21/30 525 M ,  H01L 21/30 525 R