特許
J-GLOBAL ID:200903080490404227

半導体レーザ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 滝本 智之 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-280343
公開番号(公開出願番号):特開平9-129961
出願日: 1995年10月27日
公開日(公表日): 1997年05月16日
要約:
【要約】【課題】 安定な自励発振特性を有する半導体レーザを提供する。【解決手段】 n型GaAs基板101上に、活性層104と、活性層104を挟むn型クラッド層103、p型クラッド層105を備えた半導体レーザである。さらに、p型クラッド層105上には、可飽和吸収層106を備えている。さらぶ可飽和吸収層の上には、エッチングストッパ層100が形成されている。これにより、ストライプの形成時の可飽和吸収層のウエハ面内でのばらつきを抑制することができる。よって、安定した自励発振特性が得られ、広い温度範囲に渡り相対雑音強度の低い半導体レーザを実現できる。
請求項(抜粋):
少なくとも量子井戸層を有する活性層と、可飽和吸収層とを備え、前記可飽和吸収層の基底準位間のエネルギ-ギャップが、前記量子井戸層の基底準位間のエネルギ-ギャップよりも、30〜200meV小さく、前記可飽和吸収層上に、エッチングストッパ層を備えたことを特徴とする半導体レーザ。

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