特許
J-GLOBAL ID：200903080493109021
光導波路を有する光学装置およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-228863
公開番号（公開出願番号）：特開平7-085497
出願日： 1993年09月14日
公開日（公表日）： 1995年03月31日
要約：
【要約】【目的】S/Nに優れた、光導波路を有する光学装置を提供する。【構成】光学装置は、信号処理回路20と受光素子22を上面に設けた基板12を有している。基板12の上面にはその全体にバッファー層14と光導波層16が設けられている。光導波層16の上面にはグレーティングカプラー24とグレーティングビームスプリッター26が形成されている。グレーティングカプラー24とグレーティングビームスプリッター26を含み、ここから受光素子22の直前までの領域を除いて、光導波層16の上面には光吸収膜18が設けられている。
請求項（抜粋）：
上面に受光素子と信号処理回路を有する基板と、基板の上面全体に設けた、上面に光学素子を有する光導波層と、光導波層の上面に部分的に設けた光吸収膜とを備え、光導波層は導波光利用領域と導波光非利用領域とを有し、光学素子は導波光利用領域の上に位置し、受光素子と信号処理回路は導波光非利用領域の下に位置し、光吸収膜は導波光非利用領域を覆っている、光導波路を有する光学装置。
IPC (3件)：
G11B 7/135
, G02B 6/122
, G11B 7/22
