微小物体の高さ計測方法及びその装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：有我軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-143073
公開番号（公開出願番号）：特開平7-142486
出願日： 1993年06月15日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：

【要約】【目的】光位置センサの飽和を招くことなく、S/N比を改善でき、もって高さ計測精度の一層の向上を図ること。【構成】チップ及び該チップ上の微小物体に走査光を斜め照射し、その反射光を光学系を透して光位置センサの受光面に導き、該光位置センサから取り出される受光面の受光位置に応じて相補的に大きさが変化する一対の出力信号に基づいて前記微小物体のチップ面からの高さを計測する装置において、少なくとも前記チップ表面を反射点とする反射光の光路上に、光の強度を弱めるためのフィルタを介在させたことを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

チップ及び該チップ上の微小物体に走査光を斜め照射し、その反射光を光学系を透して光位置センサの受光面に導き、該光位置センサから取り出される受光面の受光位置に応じて相補的に大きさが変化する一対の出力信号に基づいて前記微小物体のチップ面からの高さを計測する装置において、少なくとも前記チップ表面を反射点とする反射光の光路上に、光の強度を弱めるためのフィルタを介在させたことを特徴とする微小物体の高さ計測装置。

引用特許：

出願人引用 (8件)

バンプ外観検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-000617 出願人：富士通株式会社
バンプ電極検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-238273 出願人：富士通株式会社
異物検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-278919 出願人：日立電子エンジニアリング株式会社, 株式会社日立製作所

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審査官引用 (11件)

特開平2-176406
特開平2-176406
特開平2-187604

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