特許

J-GLOBAL ID：200903080495653250

乾燥装置付チャンバ

発明者： ニコラ ギラゴッシアン
出願人/特許権者： セクスタン・アビオニク
代理人 (1件)： 園田 吉隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-135109
公開番号（公開出願番号）：特開2000-039265
出願日： 1999年05月17日
公開日（公表日）： 2000年02月08日
要約：

【要約】【課題】 乾燥装置を具備するチャンバにおいて、乾燥剤を有効に利用すると共に乾燥剤を充填した前室の取替え時にもクリーンチャンバが水分によって汚染しないようにする。【解決手段】 乾燥装置付チャンバは、オリフィスおよび乾燥剤を充填した着脱可能な前室とを経由して外気と繋がるクリーンチャンバを具備する。乾燥装置付チャンバはクリーンチャンバのオリフィスと乾燥剤を充填した着脱可能な前室との間に、クリーンチャンバのオリフィスに乾燥剤を充填した前室を装着したときに開放し、それ以外は閉じているバルブと、乾燥剤を充填した前室には空気が直接流れることを防止して乾燥剤と接触するように整流する整流部を有する。好ましくは、整流部の断面積は漸減し、乾燥剤の飽和状況を監視する監視手段が設けられる。さらに、クリーンチャンバ内の高速な排気を可能にするために、整流部をバイパスする一方向の逆流防止弁を具備する。

請求項（抜粋）：

オリフィスおよび乾燥剤を充填した着脱可能な前室とを経由して外気と繋がるクリーンチャンバを具備する乾燥装置付チャンバにおいて、当該乾燥装置付チャンバはクリーンチャンバのオリフィスと乾燥剤を充填した着脱可能な前室との間に、クリーンチャンバのオリフィスに乾燥剤を充填した前室を装着したときに開放し、それ以外は閉じているバルブを有し、乾燥剤を充填した前室には空気が直接流れることを防止して乾燥剤と接触するように仕向ける整流部を有する乾燥装置付チャンバ。

IPC (5件)：

F26B 21/00 ,  B01D 53/26 101 ,  F16K 15/02 ,  F26B 5/16 ,  F26B 25/16

FI (5件)：

F26B 21/00 G ,  B01D 53/26 101 A ,  F16K 15/02 ,  F26B 5/16 ,  F26B 25/16