特許
J-GLOBAL ID：200903080495786012
原子間力顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-064032
公開番号（公開出願番号）：特開平6-273158
出願日： 1993年03月23日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：
【要約】【目的】測定精度の向上を図ることが可能な原子間力顕微鏡を提供する。【構成】試料表面を走査する探針12と、探針12を支持するとともに探針12に作用する力を受けて変位する探針支持部材11と、試料14を任意の少なくとも2次元方向に駆動する駆動手段26と、試料14の表面に垂直なZ方向に沿った探針の変位を検出する第1の変位検出手段19と、探針の試料移動方向の変位を検出する第2の変位検出手段20と、第1及び第2の変位検出手段19,20の出力に基づき試料表面形状を算出する形状算出手段24と、第1の変位検出手段19の出力に基づき試料表面形状のZ方向のスケールを算出するスケール算出手段27と、形状算出手段24、及びスケール算出手段27の出力に基づき試料表面測定像を生成し、表示するための測定像表示手段25とを具備する。
請求項（抜粋）：
試料表面を走査する探針と、この探針を支持するとともに探針に作用する力を受けて変位する探針支持部材と、試料を任意の少なくとも2次元方向に駆動する駆動手段と、試料の表面に垂直なZ方向に沿った探針の変位を検出する第1の変位検出手段と、探針の試料移動方向の変位を検出する第2の変位検出手段と、第1及び第2の変位検出手段の出力に基づき試料表面形状を算出する形状算出手段と、第1の変位検出手段の出力に基づき試料表面形状のZ方向のスケールを算出するスケール算出手段と、上記形状算出手段、及び上記スケール算出手段の出力に基づき試料表面測定像を生成し、表示するための測定像表示手段と、を具備したことを特徴とする原子間力顕微鏡。
IPC (2件)：
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