ダイシング装置のスピンドル移動機構

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-157823
公開番号（公開出願番号）：特開2000-343523
出願日： 1999年06月04日
公開日（公表日）： 2000年12月12日
要約：

【要約】【課題】構造が簡単でコンパクトなダイシング装置のスピンドル移動機構を提供する。【解決手段】ブレードが装着されたスピンドルは、2台のY軸キャリッジ50A、50Bに個別に搭載される。2台のY軸キャリッジ50A、50Bは、共に一対のY軸ガイドレール46、46上に摺動自在に設けられている。ネジ棒駆動モータ64でネジ棒56を回転させると、2台のY軸キャリッジ50A、50Bは、共に同じ移動量で同じ方向に移動する。また、一方のY軸キャリッジ50Bに設けられた中空モータ68によってナット66Bを回転させると、一方のY軸キャリッジ50Bのみが単独で移動する。

請求項（抜粋）：

各々個別にブレードが装着された2本のスピンドルをY軸方向に沿って配置し、該2本のスピンドルを回転させながら、該2本のスピンドルとワークをX軸方向に沿って相対的に移動させることにより、前記ワークを切断線に沿って切断するとともに、前記2本のスピンドルをY軸方向に沿って所定ピッチ移動させることにより、前記ワークを次の切断線に沿って切断するダイシング装置のスピンドル移動機構において、前記スピンドル移動機構は、前記ダイシング装置の本体フレームに設けられたベースと、Y軸方向に沿って前記ベースに配設されたレールと、前記レール上に摺動自在に設けられ、前記2本のスピンドルが各々独立して搭載された2台のキャリッジと、前記レールに沿って配設されたネジ棒と、前記ベースに設けられ、前記ネジ棒を回転させるネジ棒駆動モータと、前記2台のキャリッジにそれぞれ設けられ、前記ネジ棒に螺合されたナット部材と、前記2台のキャリッジのいずれか一方に設けられ、前記ナット部材を回転させるナット駆動モータと、からなることを特徴とするダイシング装置のスピンドル移動機構。

IPC (3件)：

B28D 5/02 , B24B 27/06 , H01L 21/301

FI (3件)：

B28D 5/02 A , B24B 27/06 J , H01L 21/78 M

Fターム (24件)：

3C058AA03 , 3C058AA13 , 3C058AA18 , 3C058AB03 , 3C058AB04 , 3C058AB06 , 3C058AC02 , 3C058BA07 , 3C058BC01 , 3C058CB05 , 3C058DA17 , 3C069AA01 , 3C069BA04 , 3C069BB01 , 3C069BB03 , 3C069BB04 , 3C069BC02 , 3C069BC03 , 3C069BC07 , 3C069CA05 , 3C069CB02 , 3C069CB05 , 3C069EA01 , 3C069EA02

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