特許

J-GLOBAL ID：200903080510235761

透明導電膜および該透明導電膜を用いた透明基体

発明者： 海老沢 純一 ,  佐藤 一夫 ,  光井 彰 ,  宮崎 正美
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-039968
公開番号（公開出願番号）：特開平7-249316
出願日： 1994年03月10日
公開日（公表日）： 1995年09月26日
要約：

【要約】【構成】ガリウムを亜鉛に対して0.1〜15原子%含有し、そのX線回折パターンにおいて(002)面による回折ピークを有し、該回折線の半値幅が1.2度以下であり、かつ、比抵抗が10-2Ω・cm以下で、膜厚が80nm〜5μmの範囲にある、酸化亜鉛を主成分とする透明導電膜および該膜を用いた透明基体。【効果】従来の膜に比べて大気中での耐熱性が大幅に優れ、かつ導電性が改善される。

請求項（抜粋）：

酸化亜鉛を主成分とする透明導電膜であって、該透明導電膜は、ガリウムを亜鉛に対して0.1〜15原子%含有し、そのX線回折パターンにおいて(002)面による回折ピークを有し、(002)面による回折線の半値幅が1.2度以下であり、かつ、該透明導電膜の比抵抗が10-2Ω・cm以下で、膜厚が80nm〜5μmの範囲にあることを特徴とする透明導電膜。

IPC (3件)：

H01B 5/14 ,  C01G 9/02 ,  C23C 14/08