特許
J-GLOBAL ID：200903080513320115
表面性状評価装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-212134
公開番号（公開出願番号）：特開2003-028805
出願日： 2001年07月12日
公開日（公表日）： 2003年01月29日
要約：
【要約】【課題】 移動方向及び幅方向の撮像範囲、角度情報数、画像の取り込み速度、被測定物の移動速度をそれぞれ独立して構成することができる表面性状評価装置を提供する。【解決手段】 被測定物の移動方向に対して略垂直に配置され前記被測定物に照射された光の反射光を検出する一次元撮像手段15と、前記被測定物に対する入射角度がそれぞれ異なるように配置された前記被測定物の表面を照射する複数の照明手段11〜14と、前記被測定物を照射する前記照明手段を時経列的に切り換える照明制御手段16と、前記照明制御手段によって切り換えられ前記被測定物を照射する前記照明手段と前記一次元撮像手段との位置関係から照明光の入射角の変化に対する前記被測定物表面の反射特性に相当する評価値を算出する評価値算出手段17、18とを有する。
請求項（抜粋）：
被測定物の移動方向に対して略垂直に配置され前記被測定物に照射された光の反射光を検出する一次元撮像手段と、前記被測定物に対する入射角度がそれぞれ異なるように配置された前記被測定物の表面を照射する複数の照明手段と、前記被測定物を照射する前記照明手段を時経列的に切り換える照明制御手段と、前記照明制御手段によって切り換えられ前記被測定物を照射する前記照明手段と前記一次元撮像手段との位置関係から照明光の入射角の変化に対する前記被測定物表面の反射特性に相当する評価値を算出する評価値算出手段とを有することを特徴とする表面性状評価装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (23件)：
2G020AA08
, 2G020DA03
, 2G020DA05
, 2G020DA06
, 2G020DA13
, 2G020DA22
, 2G020DA45
, 2G051AA34
, 2G051AA40
, 2G051AB12
, 2G051BA01
, 2G051BC01
, 2G051CA03
, 2G051CA04
, 2G051CA07
, 2G051CB01
, 2G051DA01
, 2G051DA06
, 2G051EA17
, 2G051EB01
, 2G051EB02
, 2G051EC03
, 2G051ED07
