特許

J-GLOBAL ID：200903080520701310

β型炭化ケイ素粉末及びその製造方法

発明者： 野上 暁 ,  秋山 素章
出願人/特許権者： 東洋炭素株式会社
代理人 (1件)： 梶 良之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-353956
公開番号（公開出願番号）：特開平10-167715
出願日： 1996年12月17日
公開日（公表日）： 1998年06月23日
要約：

【要約】【課題】 半導体ウェハ等の高純度製品の鏡面研摩用の研磨材として、ダイヤモンド粉末と同等以上の研磨性能を有しながら且つ安価な研磨材そのもの及びその製造方法を提供する。【解決手段】 化学気相反応により天然黒鉛を含有する原料材(特に膨張黒鉛シート)の全体を完全に炭化ケイ素化した後、該炭化ケイ素化した黒鉛製バルク材を粉砕することにより、鋭いエッジ部が形成された粒子群からなるβ型炭化ケイ素粉末を得るようにした。

請求項（抜粋）：

化学気相反応により炭化ケイ素化されてなるβ型炭化ケイ素粉末であって、天然黒鉛を含有する原料材の全体が完全に炭化ケイ素化された後粉砕され、鋭いエッジ部が形成された粒子からなることを特徴とするβ型炭化ケイ素粉末。

IPC (3件)：

C01B 31/36 ,  B24B 37/00 ,  H01L 21/304 321

FI (3件)：

C01B 31/36 A ,  B24B 37/00 H ,  H01L 21/304 321 P