力学量センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-334748
公開番号（公開出願番号）：特開平6-180261
出願日： 1992年12月15日
公開日（公表日）： 1994年06月28日
要約：

【要約】【目的】耐衝撃性に優れ、かつ歩留まりの向上した力学量センサを提供する。【構成】梁状構造体13の上下方向の変位を規制するように、固定電極33にストッパ31を設ける。これにより、梁状構造体13の基板11と逆側への変位が規制され、基板11から梁状構造体13が外れることがなくなり、落下などの衝撃にも耐える力学量センサが実現される。

請求項（抜粋）：

複数の腕部を有するリブ状の導電性の梁状構造体及び所定個数の固定電極が基板上に配置され、前記梁状構造体は、2点支持梁が形成されるよう前記腕部のうち少なくともいずれか2本の腕部の端部が基板上に支持されており、外力等の力学量によって前記固定電極との基板略平行方向の間隔が変化するよう、前記支持された以外の腕部が前記固定電極の間に宙支され、前記梁状構造体の腕と固定電極の間の静電容量の変化を検出することにより力学量を検出する力学量センサにおいて、前記梁状構造体の基板略垂直方向の変位を規制するよう前記固定電極のうちいずれかにストッパを設けたことを特徴とする力学量センサ。

IPC (2件)：

G01L 9/12 , G01P 15/125

引用特許：

審査官引用 (5件)

特表平4-504003
特開平4-313031
特開平4-115165

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