特許

J-GLOBAL ID：200903080525773018

表面疵検査装置及び表面観察方法

発明者： 大重 貴彦 ,  山田 善郎 ,  上杉 満昭 ,  的場 有治 ,  猪股 雅一 ,  吉川 省二 ,  河村 努 ,  杉浦 寛幸
出願人/特許権者： 日本鋼管株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-357927
公開番号（公開出願番号）：特開平11-183399
出願日： 1997年12月25日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：

【要約】【課題】 被検体における凹凸性を持たない模様状ヘゲ欠陥を検出する。【解決手段】 本発明の表面疵検査装置は、搬送中の被検体21における幅方向の複数箇所に配列され、被検体を互いに異なる光学条件で観察する少なくとも2台の受光カメラ32a〜32cがそれぞれ組込まれた複数のカメラユニット29a〜29dと、この各カメラユニットに組込まれた各受光カメラの観察データに基づいて被検体における幅方向の各位置の表面疵の有無を判定する判定処理部30とを備えている。そして、判定処理部は、被検体における隣接するカメラユニットの観察範囲の境界部において、一方のカメラユニットで必要とする全ての光学条件の観察データが得られなかった場合、不足とされた光学条件の観察データとして他方のカメラユニットで得られた観察データを用いて、境界部における表面疵の有無を判定する。

請求項（抜粋）：

搬送中の被検体における幅方向の複数箇所に配列され、前記被検体を互いに異なる光学条件で観察する少なくとも2台の受光カメラがそれぞれ組込まれた複数のカメラユニットと、この各カメラユニットに組込まれた各受光カメラの観察データに基づいて前記被検体における幅方向の各位置の表面疵の有無を判定する判定処理部とを備えた表面疵検査装置であって、前記判定処理部は、前記被検体における隣接するカメラユニットの観察範囲の境界部において、一方のカメラユニットで必要とする全ての光学条件の観察データが得られなかった場合、不足とされた光学条件の観察データとして他方のカメラユニットで得られた観察データを用いて、前記境界部における表面疵の有無を判定することを特徴とする表面疵検査装置。