特許
J-GLOBAL ID：200903080529641540
半導体製造管理システム
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
船橋 国則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-057034
公開番号（公開出願番号）：特開平5-218177
出願日： 1992年02月07日
公開日（公表日）： 1993年08月27日
要約：
【要約】【目的】 ロットの進捗遅れを防ぐとともに、装置稼動コストおよび作業コストを向上させる。【構成】 バッチ処理すべきロットが到着した場合にその前の工程まで遡って他の同時処理可能なロットの有無を判別する手段と、一定の時間を経過しても次ロットが到着しない場合には、既に到着しているロットでバッチを編成する手段とを設けた。
請求項（抜粋）：
バッチ処理管理部分に順次搬送される複数のロットを同時に処理する半導体製造管理システムにおいて、バッチ処理すべきロットが到着した場合にその前の工程まで遡って他の同時処理可能なロットの有無を判別する手段と、一定の時間を経過しても次ロットが到着しない場合には、既に到着しているロットでバッチを編成する手段とを設けたことを特徴とする半導体製造管理システム。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65G 43/00
, B65G 49/07
