特許
J-GLOBAL ID：200903080538578338
薬液貯蔵および搬送用容器の薬液出し入れ装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-015568
公開番号（公開出願番号）：特開平7-224999
出願日： 1994年02月09日
公開日（公表日）： 1995年08月22日
要約：
【要約】【目的】部品点数を減少させると同時に、振動が生じても薬液が漏洩したりすることがなく、しかも作業の自動化を図る部品を組付ける上で、設置スペースを充分確保することが可能な薬液貯蔵および搬送用容器の薬液出し入れ装置を提供する。【構成】フランジ部20がライニングされた容器本体12に形成された開口部の周囲を囲むように配置される樹脂製の中央ブロック16と、この中央ブロック16を両側から狭持して該中央ブロック16を容器本体12に固定する一対の金属製押さえ部材17、18とを備え、中央ブロック16の内部には容器本体12内に通じる2個以上の薬液通路22が形成され、各薬液通路22の途中には、この開放あるいは閉塞を選択的に行う弁装置19が金属製押さえ部材17、18の一方に固定されて配置されていることを特徴としている。
請求項（抜粋）：
フランジ部を具備し、このフランジ部が容器本体に形成された開口部の周囲を囲むように配置される樹脂製の中央ブロックと、この樹脂製の中央ブロックを両側から狭持して該中央ブロックを前記容器本体に固定する一対の金属製押さえ部材とを備え、前記中央ブロックの内部には前記容器本体内に通じる2個以上の薬液通路が形成され、前記各薬液通路の途中には、この開放あるいは閉塞を選択的に行う弁装置が前記金属製押さえ部材の一方に固定されて配置されていることを特徴とする薬液貯蔵および搬送用容器の薬液出し入れ装置。
IPC (4件)：
F17C 6/00
, A61J 3/00 300
, F17C 13/04
, H01L 21/306
