特許
J-GLOBAL ID:200903080539125060

光走査装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-130466
公開番号(公開出願番号):特開2000-284199
出願日: 1999年03月31日
公開日(公表日): 2000年10月13日
要約:
【要約】【課題】 X,Y方向に光走査を行うための2台の回転反射鏡とfθレンズの組み合わせにより、平面上の任意の位置に光を集束させる事が可能な光走査装置において、座標軸上以外での入力信号の座標位置と実際の光集束位置が異なる,いわゆる歪みを無くし、高精度でしかも高速に位置決めが可能な光走査装置を提供する。【解決手段】 X座標方向に発生する誤差を、X座標とY座標の偶関数である2n次多項式との積から算出し、この値で予めx座標方向に入力する電気的信号を補正した信号を入力信号とする事で、補正を行う手段をとる。またY軸に対しても、X,Y座標を入れ替えて同じ事を行う。また誤差信号の発生と補正に複数のアナログ乗算回路とアナログ加減算回路を用いる。
請求項(抜粋):
互いに直交するX,Y2軸方向に光を走査する為に、該2軸方向に各々位置を設定する為の電気的な入力に比例した角度が得られる回転反射鏡2個と、入射角度と集束位置が比例関係にある通称fθレンズ1枚を備え、平面上の任意な座標に光を集束する事が可能である様な光走査装置において、該直交する座標軸上を外れた座標位置で、該位置を設定する為の電気的な入力信号に対して、実際の集束座標位置が比例関係と外れる現象において、X座標方向に発生する誤差をX座標とY座標の偶関数である2n次多項式との積から算出する手段と、Y座標方向に発生する誤差をY座標とX座標の偶関数である2n次多項式との積から算出する手段と、上記手段で算出された誤差を予め補正した信号を上記回転反射鏡への電気的な入力信号とする手段とを具備することを特徴とする光走査装置。
Fターム (7件):
2H045AA00 ,  2H045AA52 ,  2H045AB13 ,  2H045AB22 ,  2H045BA12 ,  2H045CA63 ,  2H045CA97

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