特許
J-GLOBAL ID：200903080542113676
共焦点走査方式レーザ顕微鏡を用いた厚さ計測装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-149630
公開番号（公開出願番号）：特開平7-012525
出願日： 1993年06月21日
公開日（公表日）： 1995年01月17日
要約：
【要約】【目的】 反射率が大きく異なる2つの表面間の厚さをデータの再現精度を低下させることなく計測することのできる厚さ計測装置を提供する。【構成】 従来の共焦点走査方式レーザ顕微鏡本体70に加えて、本体用ビームスプリッタ50からの反射光2bの光路内外に出し入れ自在に1/4波長板53が設置され、その後段には分離用ビームスプリッタ54が設置されている。そして、前記1/4波長板53、および分離用ビームスプリッタ54によって分離された2つのレーザ光2c、2dがそれぞれ第1の光電子増倍管55、第2の光電子増倍管56に入射されるようになっている。
請求項（抜粋）：
厚さ計測を行なう対象物に対して厚さ計測測定点となる2点にフォーカス軸を動作させてレーザ光を照射する共焦点走査方式レーザ顕微鏡本体と、前記対象物の2点で反射された前記レーザ光の反射光を分離する分離器と、この分離器を通して得られた2つの反射光の反射強度をそれぞれ測定する第1、第2の光電子増倍管とを具備してなり、前記第1、第2の光電子増倍管は、前記対象物の2点の反射率に応じてその感度が異なるように設定されていることを特徴とする共焦点走査方式レーザ顕微鏡を用いた厚さ計測装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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