特許
J-GLOBAL ID：200903080544237836
プラズマディスプレイパネルの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-325114
公開番号（公開出願番号）：特開2002-134004
出願日： 2000年10月25日
公開日（公表日）： 2002年05月10日
要約：
【要約】【課題】従来のプラズマディスプレイパネルの製造方法では、バス電極の形成に際して、透明電極を1PRで形成し、透明電極形成のためのレジストパターンを剥離した後に、UV-Agペーストを塗布・露光・現像して形成していたため、バス電極の形成までの工程数が多く、しかも、UV-Agペーストからなるバス電極間でショートが発生し易いといった不具合があった。【解決手段】透明電極9のパターン形成を、ドライフィルムレジスト(DFR)4を用いたリフトオフ法により行い、DFR4の剥離をバス電極10形成のためのUV-Agペースト7の現像時に同時に処理するため、従来必要であったリフトオフ用のDFR4の剥離工程を削除することができ、プロセスの簡略化が可能となる。
請求項（抜粋）：
第1透明基板上に透明電極を形成し、前記透明電極の表面にバス電極を形成し、前記第1透明基板と対向して配置される第2透明基板の上に前記透明電極と交差するデータ電極及び隔壁を形成するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記透明電極及び前記バス電極は、前記第1透明基板の上にレジストパターンを形成する工程と、前記第1透明基板の上から前記レジストパターンに向けて透明電極材料を堆積させ、レジストパターンの形成されていない第1透明基板上に透明電極材料を堆積させる工程と、上部に透明電極材料が堆積した前記レジストパターンの間に感光性のバス電極材料を埋め込む工程とを含む製造方法により形成されることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 9/02 F
, H01J 11/02 B
5C027AA01
, 5C027AA02
, 5C040FA01
, 5C040FA04
, 5C040GB03
, 5C040GB14
, 5C040GC04
, 5C040GC05
, 5C040GC19
