特許

J-GLOBAL ID：200903080544700986

整合器

発明者： 富川 典俊
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 晴敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-093163
公開番号（公開出願番号）：特開平7-302695
出願日： 1994年05月02日
公開日（公表日）： 1995年11月14日
要約：

【要約】【目的】 整合器内の容量成分と誘導成分の連続的可変範囲を大きくし、かつその変化率を一定としないことにより単独で広い周波数範囲において負荷側の整合調整を容易に行わせるようにした整合器を提供する。【構成】 バリアブルコンデンサ2,3からなる可変容量素子と、コイル4および導電体6からなる可変誘導素子を共振回路として設け、かつコンデンサの単位回転量当りの容量変化分を周波数範囲の高域側になるほど小さくすることにより広範囲のプラズマ励起周波数に対する負荷側の整合調整を行う。

請求項（抜粋）：

電極を含む負荷に対して所定の周波数範囲内で連続的に選択可能な高周波を供給する高周波電源を備えたプラズマ発生装置に組み込まれ、前記負荷と高周波電源との間に介在して両者のマッチングを行う整合器であって、共振回路を形成する可変容量素子および可変誘導素子により高周波に対する同調およびインピーダンスの調整を行うと共に、前記可変容量素子の容量値および前記可変誘導素子の誘導係数は連続的に設定可能であり、かつ前記周波数範囲の全体にわたって同調および調整を可能とする容量レンジおよび誘導係数レンジを有することを特徴とする整合器。