特許

J-GLOBAL ID：200903080549911179

薬液供給装置及び方法

発明者： 大▲濱▼ 長法 ,  池田 武司 ,  神永 純一 ,  青木 英士
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
代理人 (1件)： 野田 茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-132469
公開番号（公開出願番号）：特開2008-284470
出願日： 2007年05月18日
公開日（公表日）： 2008年11月27日
要約：

【課題】薬液に濃度差が生じた場合においても、適正な薬液供給を行い、高品質な塗工作業を行う。【解決手段】薬液缶1と薬液供給配管4と液面センサー6を有するカラーフィルター作製装置において、専用の循環装置となる循環配管2と循環ポンプ3を設ける。循環ポンプ3の駆動によって、薬液缶1の底部から上部に掛けて配置した循環配管2による循環経路を通して薬液を循環させることにより、薬液缶1内の薬液の濃度を均一化する。また、循環配管2に切り替えバルブを設け、薬液の循環経路を切り替えて塗工装置側に供給するような構成を設ける。さらに、第1の薬液缶1に加えて交換可能なバッファータンクとしての第2の薬液缶11を設ける。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

薬液を貯留する有底容器状に形成された薬液貯留部と、 前記薬液貯留部に貯留された薬液を供給先に供給する薬液供給部と、 前記薬液貯留部に貯留された薬液を循環配管を通して循環させる専用の循環装置と、 を有することを特徴とする薬液供給装置。

IPC (2件)：

B05C 11/10 ,  G02B 5/20

FI (2件)：

B05C11/10 ,  G02B5/20 101

Fターム (11件)：

2H048BA11 ,  4F042AA06 ,  4F042BA09 ,  4F042BA11 ,  4F042BA16 ,  4F042CA01 ,  4F042CB02 ,  4F042CB08 ,  4F042CB11 ,  4F042CB20 ,  4F042DH09

引用特許：

出願人引用 (1件)

• カラーフィルタの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-122123   出願人：凸版印刷株式会社