特許
J-GLOBAL ID：200903080555358570
液処理方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富田 幸春
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-143679
公開番号（公開出願番号）：特開平5-309348
出願日： 1992年05月11日
公開日（公表日）： 1993年11月22日
要約：
【要約】【目的】ガラス製品等のワークを水により超音波洗浄等の処理するに際し、水中の溶存酸素を除去して該溶存酸素によるワークの酸化を防止し、効率的な洗浄処理を行えるようにする。【構成】精密加工されたワークとしてのガラス製品1を前段工程2から次段の処理工程3に移行するにその中途で水による洗浄(超音波洗浄)処理を行うに際し、洗浄槽4内の水5を併設した脱酸素槽6内にて有機質製の中空糸膜7を結束した脱酸素装置7' により該水5内の溶存酸素を負圧吸引除去し溶存酸素の除去された水5を循環ポンプ9を介し洗浄槽4との間に循環させ、該洗浄槽4内の水5をして溶存酸素のない水にし、ワーク1の洗浄工程に於いて該ワーク1の表面、及び、基質に対する溶存酸素による酸化を確実に防止し、設計通りワーク1の機能が保持出来るようにする。【効果】ワーク1の水5による洗浄(超音波洗浄)等の処理に於いて酸素による酸化を防止し、確実に設計通りのワークの機能を維持出来るようにする。
請求項（抜粋）：
易酸化性のワークをその表面が液体と接触するように該液体中に浸漬状態にして所定の処理を行うに際し該液体をワークに対し最適状態にして処理する方法において、ワークを浸漬する液に対し溶存酸素を除去するようにすることを特徴とする液処理方法。
IPC (2件)：
B08B 3/10
, H01L 21/304 341
