特許
J-GLOBAL ID：200903080556752116
光散乱式広域粒子計測装置およびそれを用いた粒子計測方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-013367
公開番号（公開出願番号）：特開平7-218419
出願日： 1994年02月07日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：
【要約】【目的】高速移動する粒子または微小粒子を広域に渡って精度良く計測することが可能な粒子計測装置および計測方法を実現する。【構成】粒子の移動速度により厚さの制御されたシート状光ビームを粒子に照射し、このシート状光ビームのシート面と垂直方向に配置された粒子からの散乱光を検出するための光蓄積効果を有する2次元検出器であり、被計測面積がズーム機構を有する対物レンズにより制御された検出器において検出された光データを画像処理装置で特定の積算処理する。
請求項（抜粋）：
厚さの制御されたシート状光ビームを粒子に照射する手段、上記シート状光ビームのシート面と垂直方向に上記粒子により散乱された光を検出するための検出器とを備えた光散乱式広域粒子計測装置。
IPC (2件)：
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