特許
J-GLOBAL ID：200903080558387377
表面観察装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長尾 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-051074
公開番号（公開出願番号）：特開平10-232240
出願日： 1997年02月19日
公開日（公表日）： 1998年09月02日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】探針と試料表面との距離を正しく算出して試料表面の電気的測定を行うことのできる表面観察装置を提供する。【解決手段】探針と試料間の距離を距離制御手段によって変位させる距離調節手段と、距離調節手段の変位量を検出する変位量検出手段と、弾性体のたわみ量を検出するたわみ量検出手段と、たわみ量の変化に基づいて探針と試料との接触を検知する接触検知手段とを備え、変位量検出手段により検出された距離調節手段の変位量とたわみ量検出手段により検出されたたわみ量と接触検知手段からの出力信号とに基づき探針と試料表面との距離を算出する距離算出手段によって、導電性探針と試料表面との非接触な状態におけるこれらの間の距離を正しく算出して試料表面の電気的測定を行う表面観察装置。
請求項（抜粋）：
弾性体に支持された導電性探針を試料表面に対向して配置し、該探針と試料間に電圧を印加し、これらの間に流れる電流を検出して試料表面を観察する表面観察装置であって、前記探針と前記試料間の距離を距離制御手段によって変位させる距離調節手段と、該距離調節手段の変位量を検出する変位量検出手段と、前記弾性体のたわみ量を検出するたわみ量検出手段と、該たわみ量の変化に基づいて前記探針と前記試料との接触を検知する接触検知手段とを備えると共に、前記変位量検出手段により検出された前記距離調節手段の変位量と前記たわみ量検出手段により検出されたたわみ量と前記接触検知手段からの出力信号とに基づき前記探針と前記試料表面との距離を算出する距離算出手段によって、前記導電性探針と前記試料表面との非接触な状態におけるこれらの間の距離を正しく算出して試料表面の電気的測定を行うことを特徴とする表面観察装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 B
, G01B 11/00 F
