特許

J-GLOBAL ID：200903080559526150

気体処理方法及び気体処理装置

発明者： 田中 利夫
出願人/特許権者： ダイキン工業株式会社
代理人 (1件)： 前田 弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-203715
公開番号（公開出願番号）：特開2002-018231
出願日： 2000年07月05日
公開日（公表日）： 2002年01月22日
要約：

【要約】【課題】被処理気体を含む空気の湿度を調節することにより、被処理気体の分解除去性能を向上する。【解決手段】被処理気体を含む未処理空気が導入される処理室(13)を備える。処理室(13)にプラズマを発生させて処理室(13)における未処理空気中の被処理気体を処理する放電手段(20)を備える。処理室(13)に導入される未処理空気の相対湿度を検出する相対湿度センサ(H1)を備える。相対湿度センサ(H1)が検出した相対湿度に基づいて処理室(13)に導入される未処理空気の相対湿度を調節する湿度調節手段(12)を備える。湿度調節手段(12)は、未処理空気の相対湿度が70%になるように調節する。

請求項（抜粋）：

被処理気体を含む未処理空気を処理室(13)に導入する一方、放電手段(20)によって上記処理室(13)にプラズマを発生させて該処理室(13)における未処理空気中の被処理気体を処理する気体処理方法であって、上記処理室(13)に導入される未処理空気の相対湿度を検出した後、該検出した相対湿度に基づいて未処理空気の湿度を調節し、この未処理空気を処理室(13)に導入することを特徴とする気体処理方法。

IPC (4件)：

B01D 53/32 ,  A61L 9/22 ,  B01D 53/30 ,  B01J 19/08

FI (4件)：

B01D 53/32 ,  A61L 9/22 ,  B01D 53/30 ,  B01J 19/08 E

Fターム (25件)：

4C080AA07 ,  4C080AA09 ,  4C080BB02 ,  4C080BB05 ,  4C080BB10 ,  4C080CC02 ,  4C080CC08 ,  4C080CC09 ,  4C080CC12 ,  4C080KK02 ,  4C080MM08 ,  4C080NN01 ,  4C080QQ01 ,  4C080QQ17 ,  4G075AA03 ,  4G075AA07 ,  4G075AA62 ,  4G075BA05 ,  4G075BB04 ,  4G075BB06 ,  4G075BD12 ,  4G075CA62 ,  4G075EB01 ,  4G075EB42 ,  4G075EC21