欠陥検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-034707
公開番号（公開出願番号）：特開平10-232122
出願日： 1997年02月19日
公開日（公表日）： 1998年09月02日
要約：

【要約】【課題】自動化による効率化を図ると共に、場所を取らない小型の欠陥検査装置を提供する。【解決手段】被検面を照明する第一照明光学系と、該第一照明光学系からの照明光のうち前記被検面からの回折光のみを結像する第一受光光学系と、前記被検面を照明する第二照明光学系と、該第二照明光学系からの照明光のうち前記被検面からの散乱光を結像する第二受光光学系と、を備え、前記被検面上に入射する前記第一照明光学系からの照明光線と前記被検面上で回折され前記第一受光光学系へ到達する回折光線とを含む平面は、前記被検面上に入射する前記第二照明光学系からの照明光線と前記被検面上で散乱され前記第二受光光学系へ到達する散乱光線とを含む平面と、角度をもって交わるようにした欠陥検査装置を提供する。

請求項（抜粋）：

被検面を照明する第一照明光学系と、該第一照明光学系からの照明光のうち前記被検面からの回折光のみを結像する第一受光光学系と、該第一受光光学系によって結像された像を撮影する第一撮像手段と、前記被検面を照明する第二照明光学系と、該第二照明光学系からの照明光のうち前記被検面からの散乱光を結像する第二受光光学系と、該第二受光光学系によって結像された像を撮影する第二撮像手段と、前記第一撮像手段及び前記第二撮像手段にて得られた前記被検面の画像に基づいて画像処理を行う画像処理装置と、を備え、前記被検面上に入射する前記第一照明光学系からの照明光線と前記被検面上で回折され前記第一受光光学系へ到達する回折光線とを含む平面は、前記被検面上に入射する前記第二照明光学系からの照明光線と前記被検面上で散乱され前記第二受光光学系へ到達する散乱光線とを含む平面と、角度をもって交わることを特徴とする欠陥検査装置。

IPC (4件)：

G01B 11/30 , G01B 11/00 , G01N 21/88 , H01L 21/66

FI (5件)：

G01B 11/30 D , G01B 11/00 G , G01B 11/00 H , G01N 21/88 E , H01L 21/66 J

引用特許：

審査官引用 (1件)

欠陥検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-208886 出願人：オリンパス光学工業株式会社

前のページに戻る