ダイヤモンド複合膜およびダイヤモンド複合膜付部材

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-236508
公開番号（公開出願番号）：特開平8-104597
出願日： 1994年09月30日
公開日（公表日）： 1996年04月23日
要約：

【要約】【目的】製造工程中や使用時おけるチッピングを減少させると同時に、使用時の性能を安定させることができるダイヤモンド複合膜およびダイヤモンド複合膜付部材を提供する。【構成】ダイヤモンド結晶層とダイヤモンド状炭素層とを交互に3層以上積層してなるもので、ダイヤモンド状炭素層がダイヤモンド結晶層よりも薄く、かつ、ダイヤモンド結晶層が3層以上形成されていることが望ましい。また、ダイヤモンド結晶層とダイヤモンド状炭素層とを交互に3層以上積層してなるダイヤモンド複合膜を、母材に接合してなるものである。

請求項（抜粋）：