特許
J-GLOBAL ID:200903080571320281
非球面レンズの形状及び偏心測定装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
柏木 明 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-189845
公開番号(公開出願番号):特開平11-037738
出願日: 1997年07月15日
公開日(公表日): 1999年02月12日
要約:
【要約】【課題】 非球面レンズなる被検レンズの調心を行うことで被検レンズの光軸を基準とした偏心測定を行うことができ、測定精度の向上と駆動機構の構成の簡略化を図れるようにする。【解決手段】 保持手段2により保持された被検レンズ1の調心を照射光学系、結像光学系、重心位置検出手段等を用いて行った上で、変位計16を有する測定手段15と、保持手段2を回転させる回転手段3とを用い、最初の位置と90°回転させた位置とで2回に分けて測定して、調心された被検レンズ1の直交2方向の断面形状データを得ることで、これらのデータの演算処理に基づき被検レンズ1の形状及び光軸基準の偏心測定が高精度に行われる。
請求項(抜粋):
非球面レンズを被検レンズとして保持する保持手段と、照明用光源を含み、この照明用光源から出射された光束を収束性光束又は発散性光束として前記被検レンズの被検面に照射する照射光学系と、前記保持手段の中心軸と前記照射光学系の光軸とに実質的に合致するように光軸が設定されて、前記被検面の近軸球面からの反射光を結像させる結像光学系と、この結像光学系により結像された像の重心位置を検出する重心位置検出手段と、前記保持手段により保持された前記被検レンズを前記光軸を回転軸として回転させる回転手段と、前記被検レンズの外径部を押して前記光軸に直交する直交面内で前記被検レンズを任意の1方向に移動させる移動手段と、前記被検レンズに対して1方向への走査機構を有する変位計に基づき前記被検レンズの断面形状を測定する測定手段と、この測定手段の測定結果等に基づいて前記被検レンズの形状及び偏心を算出する演算処理手段と、を備えることを特徴とする非球面レンズの形状及び偏心測定装置。
IPC (2件):
FI (2件):
G01B 11/24 Z
, G01M 11/00 L
前のページに戻る