特許
J-GLOBAL ID：200903080571453788
高純度Ru微粉末の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富田 和夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-296301
公開番号（公開出願番号）：特開2000-119707
出願日： 1998年10月19日
公開日（公表日）： 2000年04月25日
要約：
【要約】【課題】 高純度で微細な粒度のRu微粉末の製造方法を提供する。【解決手段】 市販のRu粉末をプレスしてプレス成形体を作製し、このプレス成形体を電子ビーム溶解して電子ビーム溶解品を作製し、この電子ビーム溶解品を、必要に応じて加工硬化させたのち、砥石を用いて研削し、研削して得られたRuの研削粉末から砥粒を分離除去し、さらに化学洗浄処理する。
請求項（抜粋）：
市販のRu粉末をプレスして得られたプレス成形体を電子ビーム溶解して電子ビーム溶解品を作製し、得られた電子ビーム溶解品を砥石を用いて研削し、研削により得られたRuの研削粉末から砥粒を分離除去し、さらに化学洗浄処理することを特徴とする高純度Ru微粉末の製造方法。
Fターム (5件)：
4K017AA03
, 4K017BA02
, 4K017CA07
, 4K017DA01
, 4K017EA06
