特許

J-GLOBAL ID：200903080572223980

空気中の化学種及び生物学的種をサンプリング及び検出するための3D統合セル・アレイ

発明者： カブズ,クレオパトラ
出願人/特許権者： ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 社本 一夫 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-502420
公開番号（公開出願番号）：特表2003-536068
出願日： 2001年05月31日
公開日（公表日）： 2003年12月02日
要約：

【要約】寸法の小さな2次元アレイ及び3次元アレイとして配置するのに適した統合メソポンプ・センサ(300、320)を開示する。1つのメソポンプ(30、320)は、対向する2つの静電的に充電可能な材料層(72、74)の間に形成された空洞又はポンプ・チャンバ(64)を通して配置された、静電的に引き寄せることができる可撓性ダイアフラム(70、240)で構成される。流体は、ダイアフラム(70、240)を第1の充電可能な層(72)及び第2の充電可能な層(74)に向かって順番に動かすことによって各チャンバを通してポンピングされる。この運動により、一連のチャンバ(64、132、134、136)を通して、またセンサ(303、354、422、502)を通過するように流体を引き込み、押し出すことができる。1つのグループのセンサとしては、様々な分析物の存在に応答して様々に抵抗を変化させることができる複数の可変化学抵抗性センサを利用する。別のグループのセンサとして、特定の分析物が存在するときに蛍光を発する化学蛍光センサ(502、506)を利用する。いくつかのメソポンプ・センサ・システム(600)は、MEMS技術を用いて製造することができる。また、これらのメソポンプ・センサ・システムは、ポンプ(60)の順序づけを行い、主成分分析を含む様々な方法を用いてセンサ出力を分析するための制御装置(602)と結合することができる。

請求項（抜粋）：

対象流体中の物質を検出するセンサ・システム(600)であって、センサ及びポンプの統合アレイ(300、350、380、500)を含み、各ポンプ(60)は該流体のサンプルを対応する1つのセンサまで駆動することを特徴とするセンサ・システム(600)。 【請求項21】 少なくともその一部分が電気的に充電可能である第1の層(72)と、 少なくともその一部分が電気的に充電可能である、前記第1の層に対向する第2の層(74)と、 前記第1及び第2の層の間に形成された空洞(64)と、 前記第1の層と第2の層の間に配置され、且つ前記空洞を通して流体をポンピングするため前記空洞(64)を通して配置された静電的に移動可能なダイアフラム(70、240)と、 前記第1及び第2の層の少なくとも一方に形成され、前記空洞(64)と流体連通する流れチャネル(62、222、308、352、410)と、を含むセンサ・システム(600)であって、 センサ(303、354、422、502)が前記流れチャネル(62、222、308、352、410)と流体連通して配置され、ポンピングされた流体が、前記空洞(64)の中へ又は空洞の外へポンピングされた時、前記センサを通過するようにされることを特徴とするセンサ・システム。 【請求項31】 空気中の化学種及び生物学的種をサンプリング及び検出するための統合セル・アレイ(300、320)であって、各統合セルはポンプ(60)及びセンサ(303、354、422、502)を有することを特徴とする統合セル・アレイ。

IPC (7件)：

G01N 35/08 ,  B81B 3/00 ,  G01N 21/64 ,  G01N 27/02 ,  G01N 27/04 ,  G01N 27/12 ,  G01N 37/00 101

FI (7件)：

G01N 35/08 Z ,  B81B 3/00 ,  G01N 21/64 Z ,  G01N 27/02 Z ,  G01N 27/04 Z ,  G01N 27/12 B ,  G01N 37/00 101

Fターム (31件)：

2G043AA01 ,  2G043BA14 ,  2G043BA16 ,  2G043CA01 ,  2G043DA05 ,  2G043EA01 ,  2G043GA07 ,  2G043GA08 ,  2G043GB01 ,  2G043NA02 ,  2G046AA01 ,  2G046BG02 ,  2G046BG04 ,  2G046DC18 ,  2G046FA01 ,  2G046FC01 ,  2G046FC07 ,  2G058AA03 ,  2G058AA05 ,  2G058DA07 ,  2G058EA14 ,  2G058GA06 ,  2G058GA08 ,  2G058GA12 ,  2G058GD03 ,  2G060AA01 ,  2G060AE19 ,  2G060AF06 ,  2G060AF08 ,  2G060BD10 ,  2G060KA01