ポジ型感光性組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：萩野平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-074059
公開番号（公開出願番号）：特開2000-267282
出願日： 1999年03月18日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：

【要約】【課題】高解像力、高感度で、表面ザラツキが少なく、ドライエッチング耐性が高い、しかも矩形性の高い優れたレジストパターンが得られるポジ型感光性組成物を提供すること。【解決手段】(a)活性光線または放射線の照射により、スルホン酸を発生する特定の化合物、及び(b)特定の3種類の繰り返し構造単位を含む、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂を含有するポジ型感光性組成物が提供される。

請求項（抜粋）：

(a)活性光線又は放射線の照射により、スルホン酸を発生する下記一般式(A-1)、(A-2)、(A-3)、(A-4)、(A-5)、(A-6)及び(A-7)で表される化合物のうち少なくとも1種、及び(b)下記一般式(I)及び一般式(II)で表される繰り返し構造単位若しくは下記一般式(I)、一般式(II)及び一般式(III) で表される繰り返し構造単位を含む、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂、を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】式(A-1)、(A-2)中、R1 〜R5 は、同一でも異なっていてもよく、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アルコキシ基、ヒドロキシ基、ハロゲン原子、又は-S-R6 基を示す。R6 はアルキル基、又はアリール基を示す。X- は、分岐状又は環状の炭素数8個以上のアルキル基及びアルコキシ基の群の中から選ばれる基を少なくとも1個有するか、直鎖状、分岐状又は環状の炭素数4〜7個のアルキル基及びアルコキシ基の群の中から選ばれる基を少なくとも2個有するか、直鎖状又は分岐状の炭素数1〜3個のアルキル基及びアルコキシ基の群の中から選ばれる基を少なくとも3個有するか、1〜5個のハロゲン原子を有するか、若しくは直鎖状又は分岐状の炭素数1〜10のエステル基を有するベンゼンスルホン酸、ナフタレンスルホン酸又はアントラセンスルホン酸のアニオンを示す。【化2】式(A-3)中、R7 〜R10は、同一でも異なっていてもよく、各々水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アルコキシ基、ヒドロキシ基、又はハロゲン原子を示す。X- は、分岐状又は環状の炭素数8個以上のアルキル基及びアルコキシ基の群の中から選ばれる基を少なくとも1個有するか、直鎖状、分岐状又は環状の炭素数4〜7個のアルキル基及びアルコキシ基の群の中から選ばれる基を少なくとも2個有するか、もしくは直鎖状又は分岐状の炭素数1〜3個のアルキル基及びアルコキシ基の群の中から選ばれる基を少なくとも3個有するベンゼンスルホン酸、ナフタレンスルホン酸又はアントラセンスルホン酸のアニオンを示す。m、n、p及びqは、各々1〜3の整数を示す。【化3】式(A-4)中、R11〜R13は、同一でも異なっていてもよく、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アルコキシ基、ヒドロキシ基、ハロゲン原子又は-S-R6 基を示す。R6 、X- は前記と同義である。l、m及びnは、同じでも異なってもよく、1〜3の整数を示す。l、m及びnが各々2又は3の場合、2〜3個のR11〜R13のうちの各々の2個が互いに結合して、炭素環、複素環又は芳香環を含む5〜8個の元素から成る環を形成してもよい。【化4】式(A-5)中、R14〜R16は、同一でも異なっていてもよく、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アルコキシ基、ヒドロキシ基、ハロゲン原子又は-S-R6 基を示す。R6 、X- は前記と同義である。l、m及びnは、同じでも異なってもよく、1〜3の整数を示す。l、m及びnが各々2又は3の場合、2〜3個のR14〜R16のうちの各々の2個が互いに結合して、炭素環、複素環又は芳香環を含む5〜8個の元素から成る環を形成してもよい。【化5】式(A-6)中、Yは置換基を有していてもよい直鎖、分岐、環状アルキル基、置換されていてもよいアラルキル基、【化6】で表される基を示す(R31〜R51は、同一でも異なっていてもよく、水素原子、置換基を有していてもよい直鎖、分岐、環状アルキル基、アルコキシ基、アシル基、アシルアミノ基、スルホニルアミノ基、アリール基、アシロキシ基、アラルキル基もしくはアルコキシカルボニル基、又はホルミル基、ニトロ基、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子、水酸基、もしくはシアノ基を示し、R31〜R35、R36〜R42及びR43〜R51はそれぞれの群のうちの2つが結合して炭素及び/又はヘテロ原子からなる5〜8員環を形成していもよい)。また、Yは別のイミドスルホネート化合物の残基と結合していてもよい。Xは置換基を有していてもよい直鎖、分岐アルキレン基、置換基を有していてもよくヘテロ原子を含んでいてもよい単環又は多環環状アルキレン基、置換されていてもよい直鎖、分岐アルケニレン基、置換されていてもよくヘテロ原子を含んでいてもよい単環又は多環環状アルケニレン基、置換されていてもよいアリーレン基、置換されていてもよいアラルキレン基を示す。また、Xは別のイミドスルホネート残基と結合していてもよい。Ar1 -SO2 -SO2 -Ar2 (A-7)式(A-7)中、Ar1 、Ar2 は、同一でも異なっていてもよく、置換もしくは未置換のアリール基を示す。【化7】式(I)〜(III)中、R21は水素原子又はメチル基を表し、R23は酸の作用により分解しない基を表し、R24は水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アリール基、アルコキシ基、アシル基又はアシロキシ基を表す。nは1〜3の整数を表す。式(II)中、R'1、R'2は、同一でも異なっていてもよく、水素原子、又は炭素数1〜4のアルキル基を表し、Wは2価の有機基を表し、R'3は、総炭素数1〜20の置換基を有してもよい鎖状アルキル基、総炭素数3〜20の置換基を有してもよい環状アルキル基、総炭素数6〜30の置換基を有してもよいアリール基、又は総炭素数7〜30の置換基を有してもよいアラルキル基を表す。

IPC (4件)：

G03F 7/039 601 , G03F 7/00 503 , G03F 7/004 503 , H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/039 601 , G03F 7/00 503 , G03F 7/004 503 A , H01L 21/30 502 R

Fターム (33件)：

2H025AA00 , 2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AA09 , 2H025AB03 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AB20 , 2H025AC01 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE07 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB16 , 2H025CB17 , 2H025CB41 , 2H025CB45 , 2H025CB52 , 2H025CC20 , 2H025FA17 , 2H096AA06 , 2H096AA25 , 2H096AA26 , 2H096AA30 , 2H096BA11 , 2H096EA02 , 2H096EA03 , 2H096EA05 , 2H096GA08

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