特許
J-GLOBAL ID：200903080576888421
半導体製造装置管理方法とそのシステム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-074687
公開番号（公開出願番号）：特開平7-282146
出願日： 1994年04月13日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：
【要約】【目的】 半導体製造装置中の機械的な異常の発生箇所と異常内容とを早期に、しかも適切に検出し、オペレータに指示することができる半導体製造装置管理方法とそのシステムを提供する。【構成】 管理コンピュータは半導体製造装置に付加した各種センサー類より入手したI/Oデータから装置全体の動作タイミングを管理し、正常な状態と比較しタイミングの差が管理基準を越えた場合に警告を発生させ、信号をLANを介して接続されているワークステーション上の故障診断エキスパートシステムに送信し、診断結果を故障診断エキスパートシステムから受信し、オペレータに指示を出す。
請求項（抜粋）：
センサーを備えた半導体製造装置と、この半導体製造装置と通信回線を介して接続された管理コンピュータと、この管理コンピュータとLANを介して接続されたホストコンピュータと、前記管理コンピュータと前記ホストコンピュータとにLANを介して接続されたワークステーションとを具備することを特徴とする半導体製造装置管理システム。
IPC (2件)：
引用特許：
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