特許
J-GLOBAL ID：200903080578955304
半導体測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 邦夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-317149
公開番号（公開出願番号）：特開平6-163656
出願日： 1992年11月26日
公開日（公表日）： 1994年06月10日
要約：
【要約】【目的】プローブカードの測定針のサンプルに対する針圧を一定にコントロールする半導体測定装置を提供する。【構成】ステージ7上に被測定物としてのサンプル6が載置され、サンプル6に対向してプローブカード2が配設されている。プローブカード2はサンプル6に接触させ測定するための測定針1および周辺部にスペーサ9を有する。このスペーサ9のサンプル6に対向した表面と最も長い測定針1の先端との間の距離が30μm以上、100μm以下となるように調整されている。プローブカード2は、スプリング10を介してプローブカード支え台4に支持されている。
請求項（抜粋）：
複数本の測定針を有し、対向して平行に配置される被測定物の表面に前記複数本の測定針を接触させることにより測定するためのプローブカードと、該プローブカードを支持するための支持手段とを備えた半導体測定装置において、前記プローブカードが、周辺部の所定の場所にスペーサを備え、かつ前記被測定物に対向する前記スペーサの面と前記被測定物の表面との間の距離をAとし、前記複数本の測定針の先端と前記被測定物の表面との間の各々の距離のうち最大の距離をBとしたとき、A≧Bが成り立つように前記スペーサが配設されてなることを特徴とする半導体測定装置。
IPC (2件)：
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