特許
J-GLOBAL ID：200903080585297800
半導体製造施設で集積欠陥を引き起こす動作/ツールを見つけるシステム及び方法
発明者：
出願人/特許権者：
,
,
代理人 (1件)：
伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-230494
公開番号（公開出願番号）：特開2002-057078
出願日： 2000年07月31日
公開日（公表日）： 2002年02月22日
要約：
【要約】【課題】 半導体ウエハーロットを処理する半導体製造施設の欠陥に対する一対の動作/ツールを見いだすための方法を提供する。【解決手段】 候補の動作/ツールリストの動作/ツールに対するロットリストの各ロットに対して、悪いロットは所定の正の値、良いロットは負の値の重み値を割り当てる。該候補の動作/ツールリストから一対の動作/ツールを選択する。該第一のロットリストの各ロットの重み値を順次加算することにより第一の累積値を形成し、加算プロセス中に最大の第一累積値として第一のピーク累積値を、同様に第二の累積値を形成し、第二のピーク累積値を割り当てる。該第一のピーク累積値と該第二のピーク累積値とを加算したピーク結合累積値により動作/ツールの各対をランク付けする。最も大きなピーク結合累積値が最も該欠陥を引き起こしやすい。
請求項（抜粋）：
全ての動作/ツールを選択することにより候補となる動作/ツールリストを形成し;該候補の動作/ツールリストの各動作/ツールに対するロットリストの各ロットに対して、悪いロットに対しては所定の正の値であり、良いロットに対しては負の値である重み値を割り当て;該候補の動作/ツールリストから一対の動作/ツールを選択し;動作/ツールの該対に対してロットリストが一番目のロットリストとして指定される一番目の動作/ツールとして該動作/ツール対の一つを指定し、ロットリストが二番目のロットリストとして指定される二番目の動作/ツールとして該動作/ツール対の他を指定し;該二番目のロットリストから該一番目のロットリストにないロットを除去することにより第一のロットリストを形成し;該一番目のロットリストから該二番目のロットリストにないロットを除去することにより第二のロットリストを形成し;該第一のロットリストの各ロットの重み値を順次加算することにより第一の累積値を形成し、加算プロセス中に最大の第一累積値として第一のピーク累積値を割り当て;該第二のロットリストの各ロットの重み値を順次加算することにより第二の累積値を形成し、加算プロセス中に最大の第二累積値として第二のピーク累積値を割り当て;ピーク結合累積値を形成するために該第一のピーク累積値と該第二のピーク累積値とを加算し;対応するピーク結合累積値により動作/ツールの各対をランキングし;動作/ツールの対を最も大きなピーク結合累積値に最も該欠陥を引き起こしやすいものとして割り当てる各段階からなる各動作/ツールはロットのプロセスシーケンスを表すロットのリストを有し、欠陥を有するウエハーを有するロットは悪いロットと称され、欠陥を有さないロットは良いロットと称され、半導体ウエハーロットを処理する複数のプロセス及び複数のツールを有する半導体製造施設の欠陥に対する一対の動作/ツールを見いだすための方法。
引用特許：
前のページに戻る
