特許
J-GLOBAL ID：200903080587448040
露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-301582
公開番号（公開出願番号）：特開平5-144695
出願日： 1991年11月18日
公開日（公表日）： 1993年06月11日
要約：
【要約】【目的】 パターン形成に使用するレチクルをレチクルライブラリに収納した直後にレチクルライブラリの位置とレチクルとを対応させることによって、露光作業の迅速化とレチクルを正常に保つことのできる優れた露光装置を提供する。【構成】 レチクルカセット3に納められた端部に認識マーク2を有するレチクル1を複数個収納するレチクルライブラリ4と、所定の1枚を選択するレチクル選択手段と、レチクルライブラリ4からレチクル1を引き出しまたは収納するための移送治具6と、レチクル1を引き出しまたは収納する際にその端部をレチクルライブラリ4から露出させて停止した状態でレチクル1の認識マーク2を読み取る認識マーク読み取り手段5と、露光装置のコデンサレンズ8と縮小投影レンズ13の間にあって露光光路9中に設けられたレチクルステージ10と、レチクルステージ10とレチクルライブラリ4との間でレチクル1を移送するレチクル移送手段とを備えた。
請求項（抜粋）：
レチクルカセットに納められた端部に認識マークを有するレチクルを複数個収納するレチクルライブラリと、前記複数個のレチクルから所定の1枚を選択するレチクル選択手段と、前記レチクルライブラリからレチクルを引き出しまたは収納するための移送治具と、レチクルを引き出しまたは収納する際にその端部をレチクルライブラリから露出させて停止した状態でレチクルの認識マークを読み取る認識マーク読み取り手段と、コンデンサレンズと縮小投影レンズとの間にあって露光光路中に設けられたレチクルを固定するレチクルステージと、前記のレチクルステージとレチクルライブラリとの間でレチクルを移送するレチクル移送手段とを備えた露光装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
, G03F 9/00
H01L 21/30 311 L
, H01L 21/30 301 J
