特許
J-GLOBAL ID:200903080591225951
半導体有機ポリマーの堆積方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴木 弘男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-008019
公開番号(公開出願番号):特開平8-015202
出願日: 1995年01月23日
公開日(公表日): 1996年01月19日
要約:
【要約】【目的】 優れた機械的特性を有し、長期間の安定性を有するガスセンサーに適した半導体有機ポリマーの製造方法を提供する。【構成】 半導体有機ポリマーの第一の層が、酸化剤をモノマーを含有する蒸気にさらすことにより重合され、そして半導体有機ポリマーの少なくとも一つの層が電気化学的に重合されたものであることを特徴とする半導体有機ポリマーの複数層を堆積する方法が開示されている。
請求項(抜粋):
半導体有機ポリマーの第一の層が酸化剤をモノマーを含有する蒸気にさらすことにより重合され、そして半導体有機ポリマーの少なくとも一つの層が電気化学的に重合されたものであることを特徴とする半導体有機ポリマーの複数層を堆積する方法。
IPC (3件):
G01N 27/12
, B32B 27/06
, H01L 51/00
引用特許:
審査官引用 (3件)
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特開平3-006217
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特開昭64-026138
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特開昭61-003040
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