特許

J-GLOBAL ID：200903080591389725

薄膜トランジスタの製造方法及び電気光学装置

発明者： 小出 慎
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-201904
公開番号（公開出願番号）：特開2001-036088
出願日： 1999年07月15日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：

【要約】【課題】 ガラス基板のガラス引き出し方向に沿って「反り」や「うねり」があっても、ミラープロジェクション露光法で微細パターンを形成でき、しかも低コスト化を実現できる薄膜トランジスタや液晶表示装置の製造方法等を提供する。【解決手段】 スリットから熔融ガラスをシート状に引き出して形成したガラス基板においてガラスの引き出し方向に沿ってうねり、反りの生じている方向と、ミラープロジェクション型の露光機のスキャン方向とを合わせるとともに、スキャン方向に沿って逐次フォーカスを合わせながら露光を行う。

請求項（抜粋）：

基板上に薄膜トランジスタを形成する薄膜トランジスタの製造方法において、熔融ガラスをシート状に引き出して形成した基板の引き出し方向と、リソグラフィー工程にて露光機のスキャン方向とがほぼ一致していることを特徴とする薄膜トランジスタの製造方法。

IPC (5件)：

H01L 29/786 ,  H01L 21/336 ,  G02F 1/1365 ,  G09F 9/30 338 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

H01L 29/78 627 Z ,  G09F 9/30 338 ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 21/30 514 B ,  H01L 21/30 518

Fターム (69件)：

2H092GA49 ,  2H092GA51 ,  2H092HA28 ,  2H092JA24 ,  2H092JA34 ,  2H092JA37 ,  2H092KA04 ,  2H092KA05 ,  2H092MA13 ,  2H092MA30 ,  2H092NA26 ,  2H092NA27 ,  2H092PA01 ,  2H092PA07 ,  2H092PA10 ,  2H092PA11 ,  2H092QA07 ,  2H092QA10 ,  5C094AA05 ,  5C094AA15 ,  5C094AA22 ,  5C094AA43 ,  5C094AA48 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094DA09 ,  5C094DA13 ,  5C094DB01 ,  5C094DB04 ,  5C094EA04 ,  5C094EB02 ,  5C094FA02 ,  5C094FB12 ,  5C094FB14 ,  5C094FB15 ,  5C094GB10 ,  5C094JA08 ,  5F046BA05 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC15 ,  5F046DA07 ,  5F046DA14 ,  5F110AA02 ,  5F110AA09 ,  5F110AA17 ,  5F110BB02 ,  5F110BB04 ,  5F110CC02 ,  5F110CC08 ,  5F110DD02 ,  5F110EE04 ,  5F110EE43 ,  5F110EE44 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG25 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ04 ,  5F110HJ12 ,  5F110HL03 ,  5F110HL23 ,  5F110HM17 ,  5F110NN03 ,  5F110NN72 ,  5F110PP03 ,  5F110QQ11