特許

J-GLOBAL ID：200903080609846533

段差測定方法、スタンパ製造方法、スタンパ、光ディスク製造方法、光ディスク、半導体デバイス製造方法、半導体デバイス、および段差測定装置

発明者： 潮 嘉次郎
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-347552
公開番号（公開出願番号）：特開2001-221617
出願日： 1999年12月07日
公開日（公表日）： 2001年08月17日
要約：

【要約】【課題】 AFMで表面に凹凸が形成されている凹凸の段差を測定すると、プローブで表面を走査するため、測定に時間がかかる、プローブが破損する度にプローブを交換する必要がある、測定により被検面表面に傷が付くことがあるという問題がある。本発明は上記問題を解決し、測定時間を短縮し、消耗品の交換をほとんど必要とせず、測定により被検物体の表面に傷が付くことがない段差測定方法を提供する。【解決手段】 表面に凹凸が形成されている被検物体の表面の全体または一部分にプローブ光を照射する段階と、前記被検物体の表面からの反射光の分光反射率波形を測定する段階と、前記分光反射率波形と参照波形とのフィッティングを行うことによって、前記凹凸の段差を算出する段階とを有する段差測定方法を提供する。

請求項（抜粋）：

表面に凹凸が形成されている被検物体の表面の全体または一部分にプローブ光を照射する段階と、前記被検物体の表面からの反射光の分光反射率波形を測定する段階と、前記分光反射率波形と参照波形とのフィッティングを行うことによって、前記凹凸の段差を算出する段階とを有することを特徴とする段差測定方法。

IPC (3件)：

G01B 11/22 ,  G11B 7/26 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01B 11/22 G ,  G11B 7/26 ,  H01L 21/66 P

Fターム (49件)：

2F065AA25 ,  2F065BB02 ,  2F065BB03 ,  2F065BB18 ,  2F065CC03 ,  2F065DD06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF41 ,  2F065FF48 ,  2F065FF51 ,  2F065GG02 ,  2F065GG03 ,  2F065GG24 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL28 ,  2F065LL42 ,  2F065LL46 ,  2F065LL67 ,  2F065NN06 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ16 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ29 ,  2F065RR06 ,  4M106AA01 ,  4M106AB20 ,  4M106BA04 ,  4M106CA48 ,  4M106DH03 ,  4M106DH12 ,  4M106DH31 ,  4M106DH37 ,  4M106DH38 ,  4M106DH39 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ21 ,  5D121AA02 ,  5D121CB08 ,  5D121CB09 ,  5D121GG02 ,  5D121HH09 ,  5D121HH15