特許

J-GLOBAL ID：200903080611299027

ワイヤーソー及びその製造方法

発明者： 溝口 晃 ,  菅原 潤 ,  山中 正明 ,  小川 秀樹 ,  浦川 信夫
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社 ,  大阪ダイヤモンド工業株式会社
代理人 (1件)： 青木 秀實 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-239548
公開番号（公開出願番号）：特開2000-052226
出願日： 1998年08月10日
公開日（公表日）： 2000年02月22日
要約：

【要約】【課題】 シリコンウエハーのスライシング加工などのできるワイヤーソーを提供する。【解決手段】 銅メッキを施した高強度の芯線の外周面上に、砥粒とフィラーを混入した樹脂溶液を塗布した後、加熱して、該砥粒を芯線外周上にレジンボンドにより隆起、固着させることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

銅メッキを施した高強度の芯線の外周面を、粒子径がレジンボンド層厚の2/3以上でかつ芯線径の1/2以下である砥粒と、粒子径がレジンボンド層厚の2/3未満のフィラーとを、弾性率が100kg/mm2 以上で軟化温度が200°C以上である樹脂中に含有してなるレジンボンド層によって被覆してなることを特徴とするワイヤーソー。

IPC (6件)：

B24B 27/06 ,  B24D 3/00 320 ,  B24D 3/00 330 ,  B24D 3/28 ,  B24D 11/00 ,  B28D 5/04

FI (6件)：

B24B 27/06 H ,  B24D 3/00 320 B ,  B24D 3/00 330 G ,  B24D 3/28 ,  B24D 11/00 G ,  B28D 5/04 C

Fターム (15件)：

3C058AA05 ,  3C058CB10 ,  3C058DA03 ,  3C063AA08 ,  3C063AB09 ,  3C063BA16 ,  3C063BA37 ,  3C063BB02 ,  3C063BB07 ,  3C063BB15 ,  3C063BC01 ,  3C069AA01 ,  3C069BA06 ,  3C069BB02 ,  3C069CA05

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ワイヤソー装置および磁気ヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-003664   出願人：株式会社日立製作所
• ワイヤソー用ワイヤ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-311187   出願人：日立電線株式会社
• ワイヤーソー及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-330999   出願人：旭ダイヤモンド工業株式会社
• ワイヤソー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-156152   出願人：旭ダイヤモンド工業株式会社