特許

J-GLOBAL ID：200903080612130557

基板有無検知方法及び基板保管装置

発明者： 竹谷 公男 ,  佐藤 光弥
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-070299
公開番号（公開出願番号）：特開2001-267399
出願日： 2000年03月14日
公開日（公表日）： 2001年09月28日
要約：

【要約】【課題】 基板の有無及び飛び出しの検知を行うことができ、基板の安全な運用を可能にする。【解決手段】 光を透過する材質で作られた基板及び光を透過しない材質で作られた基板のいずれをも検出可能な基板有無検知方法であって、発光素子21aと、受光素子21bからなる透過型の基板検出機構を用い、発光素子21aと、該発光素子から照射された光ビーム32を受光する受光素子21bとを基板であるレチクルRの平面部(側面)に対して光ビーム32の光路が傾きをもつように配置し、該光ビーム32がレチクルRにより光路を変更して、該光ビーム32の光路が受光素子21bに対し外れることによりレチクルRを検出する。

請求項（抜粋）：

光を透過する材質で作られた基板及び光を透過しない材質で作られた基板のいずれをも検出可能な基板有無検知方法であって、発光手段と、受光手段からなる透過型の基板検出機構を用い、前記発光手段と、該発光手段から照射された光ビームを受光する前記受光手段とを前記基板の平面部に対して前記光ビームの光路が傾きをもつように配置し、該光ビームが前記基板により光路を変更して、該光ビームの光路が前記受光手段に対し外れることにより基板を検出することを特徴とする基板有無検知方法。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  G03F 1/14 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

H01L 21/68 L ,  G03F 1/14 M ,  H01L 21/30 503 E

Fターム (12件)：

2H095BE12 ,  5F031CA07 ,  5F031DA01 ,  5F031JA05 ,  5F031JA22 ,  5F031JA25 ,  5F031JA33 ,  5F031MA27 ,  5F046CD04 ,  5F046DB05 ,  5F046DC04 ,  5F046DC10