特許

J-GLOBAL ID：200903080616899022

動吸振器付き走査型プローブ顕微鏡及びその測定方法

発明者： 岡田 尚史
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-191640
公開番号（公開出願番号）：特開2001-021477
出願日： 1999年07月06日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：

【要約】【課題】ノイズを低減した測定データを正確に且つ高分解能に得ることが可能な低コストな動吸振器付き走査型プローブ顕微鏡及びその測定方法を提供する。【解決手段】試料2に対して相対的にカンチレバー14を走査して、試料の測定データを得ることが可能なセンサヘッド6と、振動発生部(フレーム10、カバー12)に設けられ、且つ、振動発生部の振動を相殺して測定データに混入する振動ノイズを低減させることが可能な動吸振器32と、センサヘッドの出力信号に基づいて、動吸振器を制御する動吸振器制御部30とを備えている。

請求項（抜粋）：

試料に対して相対的にカンチレバーを走査して、試料の測定データを得ることが可能なセンサヘッドと、振動発生部に設けられ、且つ、振動発生部の振動を相殺して測定データに混入する振動ノイズを低減させることが可能な動吸振器と、センサヘッドの出力信号に基づいて、動吸振器を制御する動吸振器制御部とを備えていることを特徴とする動吸振器付き走査型プローブ顕微鏡。

IPC (3件)：

G01N 13/10 ,  G01B 7/34 ,  G01B 21/30

FI (3件)：

G01N 13/10 Z ,  G01B 7/34 Z ,  G01B 21/30 Z

Fターム (17件)：

2F063AA43 ,  2F063BC05 ,  2F063CA26 ,  2F063CB16 ,  2F063DA02 ,  2F063EA16 ,  2F063EB01 ,  2F063ZA07 ,  2F069AA60 ,  2F069AA66 ,  2F069DD09 ,  2F069EE03 ,  2F069GG62 ,  2F069HH04 ,  2F069JJ01 ,  2F069JJ11 ,  2F069NN02