特許

J-GLOBAL ID：200903080618334987

水平式スピン洗浄機における移動式シャワーノズルによる均一塗膜散布方式

発明者： 楠 大輔
出願人/特許権者： セファテクノロジー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-264288
公開番号（公開出願番号）：特開2001-053045
出願日： 1999年08月12日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：

【要約】【課題】 液体の均一散布ができなかった水平式スピン洗浄機の散布方式を、より短時間で、均一な膜厚の液膜で散布できるようにするとともに、液体使用量も減少させる。【解決手段】 回転している基板上を、移動可能なシャワーノズルが、基板の外側から液体を散布しながら、円周側から中心に適度な速度で移動する。中心に達したシャワーノズルは、プロセス終了までその流量で液体を散布、もしくは、流量を抑えて散布し、プロセス終了後、中心から基板の外側に戻る。

請求項（抜粋）：

液供給口をシャワーノズル形状にして、液体を散布しながら、スピンしている基板にシャワーノズルを基板中心に移動させる、水平式スピン洗浄機における均一塗膜散布方式。

IPC (4件)：

H01L 21/304 643 ,  H01L 21/304 ,  B05B 13/04 ,  B08B 3/02

FI (4件)：

H01L 21/304 643 A ,  H01L 21/304 643 D ,  B05B 13/04 ,  B08B 3/02 B

Fターム (11件)：

3B201AA03 ,  3B201AB01 ,  3B201AB34 ,  3B201BB33 ,  3B201BB44 ,  3B201BB85 ,  3B201BB92 ,  3B201CB01 ,  4F035AA04 ,  4F035CB05 ,  4F035CD03