特許

J-GLOBAL ID：200903080619590499

表面層欠陥検出装置

発明者： 広野 歩 ,  小林 政憲 ,  藤沢 寿政
出願人/特許権者： 富士ゼロックス株式会社
代理人 (1件)： 田中 隆秀 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-209770
公開番号（公開出願番号）：特開平7-063687
出願日： 1993年08月24日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：

【要約】【目 的】 円筒状の表面層の軸に沿う筋状の凹み及び軸に垂直な(円周方向に沿う)筋状の凹みを両方とも検出することが可能で且つ構成が簡素な表面層欠陥検出装置を提供すること【構 成】 表面層欠陥検出装置は、被検査体1の円筒状の表面層に沿ってその軸方向に延びる光源41と、前記光源41からの出射光を通過させて前記表面層にその軸方向に沿う所定パターンの検査光を照射させる複数のスリットパターン43,44が形成された遮光部材42と、前記表面層からの反射光量を検出する受光センサ51とを備えている。前記遮光部材42が前記光源41を覆う筒状部材により構成され、前記筒状の遮光部材42を回転させる回転装置が設けられている。

請求項（抜粋）：

被検査体の円筒状の表面層に沿ってその軸方向に延びる光源と、前記光源からの出射光を通過させて前記表面層にその軸方向に沿う所定パターンの検査光を照射させるスリットパターンが形成された遮光部材と、前記表面層からの反射光量を検出する受光センサとを備えた表面層欠陥検出装置において、下記の要件を備えたことを特徴とする表面層欠陥検出装置、(Y01) 前記遮光部材が前記光源を覆う筒状部材により構成されていること、(Y02) 前記スリットパターンは、前記筒状の遮光部材の軸に沿って延びる細長いスリットから形成された第1スリットパターンと、この第1スリットパターンから円周方向に離れた位置において前記筒状の遮光部材の円周方向に延びる複数のスリットが軸に沿って列設された第2スリットパターンとを有すること、(Y03) 前記筒状の遮光部材を回転させる回転装置が設けられていること。

IPC (4件)：

G01N 21/88 ,  G01M 11/00 ,  G03G 5/00 101 ,  G03G 15/20 103