特許

J-GLOBAL ID：200903080623110337

加熱処理装置

発明者： 白川 英一
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 金本 哲男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-157030
公開番号（公開出願番号）：特開2002-353110
出願日： 2001年05月25日
公開日（公表日）： 2002年12月06日
要約：

【要約】【課題】 熱による熱板自体の変形を抑制し,基板を均一に加熱する。【解決手段】 熱板63を,円形状の中心部64とその外方の外縁部65とに分割する。さらに,外縁部65を4つの円弧状の片65a,65b,65c,65dに分割する。熱板63の中央部64と片65a〜65dには,それぞれヒータ67a〜67eが設けられ,各ヒータ67a〜67eは,制御部69によって個別に制御される。熱板63の温度は,各部分毎に微調節される。

請求項（抜粋）：

基板を加熱する加熱処理装置であって,基板を加熱する熱板を有し,前記熱板は,中央部の第1の部分と,当該第1の部分の外方の第2の部分とに分割されており,前記第2の部分は,複数の片に分割されていることを特徴とする,加熱処理装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  H05B 3/00 370 ,  H05B 3/20 393

FI (3件)：

H05B 3/00 370 ,  H05B 3/20 393 ,  H01L 21/30 567

Fターム (20件)：

3K034AA04 ,  3K034AA10 ,  3K034AA16 ,  3K034AA19 ,  3K034BB06 ,  3K034BB14 ,  3K034BC03 ,  3K034BC12 ,  3K034DA03 ,  3K034HA04 ,  3K034JA04 ,  3K034JA10 ,  3K058AA22 ,  3K058BA00 ,  3K058CA12 ,  3K058CA70 ,  3K058CE13 ,  3K058CE19 ,  3K058CE23 ,  5F046KA04

引用特許：

審査官引用 (1件)

• ヒータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-377794   出願人：イビデン株式会社