局部研磨レートの制御方法および装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：阪本善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-193901
公開番号（公開出願番号）：特開平10-015809
出願日： 1996年07月04日
公開日（公表日）： 1998年01月20日
要約：

【要約】【課題】被加工物の被研磨面に局部的な凸部および/または凹部が存在する場合であっても均一な平坦面に研磨することができるようにする。【解決手段】回転テーブル1の保持面には互いに間隙部2bをおいて網目状に複数のヒータ1aが配設されている。例えば、基板に局部的な凸部が存在する場合には、前記凸部に対応する回転テーブル1の円Aで囲まれた部位のヒータ1aの温度を他の部位の温度よりも所定の温度差だけ上昇させることにより、基板の凸部の存在する部位の温度を残りの部位の温度よりも所定の温度差だけ上昇させて局部的に研磨レートを増大させることができる。

請求項（抜粋）：

保持機構の保持面に保持された被加工物の被研磨面と、前記被研磨面に所定の加工圧を与えた状態で当接された研磨工具の研磨面との間に研磨剤を供給しつつ研磨を行なう化学機械研磨方法において、前記被研磨面に存在する凸部および/または凹部の部位に対応する前記保持機構の部位と残りの部位との間に温度差を発生させることにより、前記被加工物の前記被研磨面に存在する凸部および/または凹部の部位と残りの部位との間に温度差を発生させて局部的に研磨レートを変化させることを特徴とする局部研磨レートの制御方法。

IPC (3件)：

B24B 37/00 , B24B 37/04 , H01L 21/304 321

FI (3件)：

B24B 37/00 F , B24B 37/04 D , H01L 21/304 321 M

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