特許

J-GLOBAL ID：200903080624558820

プラズマ生成用陰極

発明者： 浜垣 学 ,  原 民夫
出願人/特許権者： 理化学研究所
代理人 (1件)： 須山 佐一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-342997
公開番号（公開出願番号）：特開平5-174721
出願日： 1991年12月25日
公開日（公表日）： 1993年07月13日
要約：

【要約】【目的】 確実かつ安定に放電を開始することができるとともに、消費電力およびLaB6 フィラメントの消耗量を削減することができ、ランニングコストの低減を図ることのできるプラズマ生成用陰極を提供する。【構成】 プラズマ生成用陰極11には、その外側を覆う如く、材質Taの円筒状パイプからなる外筒13が設けられており、その内部には、補助陰極として、コイル状に形成されたLaB6 フィラメント14が設けられている。また、外筒13のアノード12側端部には、LaB6 からなり、中央部に円形の透孔15を有する円板状の主陰極16が配置されている。

請求項（抜粋）：

アノードとの間で放電を生じさせ、プラズマを生成させるプラズマ生成用陰極であって、LaB6 を主成分とし、フィラメント状に形成され、通電加熱可能に構成された補助陰極と、前記補助陰極と前記アノードとの間に配置され、前記補助陰極と前記アノードとの間の放電により加熱されて、前記アノードとの間で放電を生起するLaB6 を主成分とする主陰極とを具備したことを特徴とするプラズマ生成用陰極。

IPC (2件)：

H01J 27/16 ,  H01J 37/08